工業(yè)上石英砂一般可分為普通石英砂、精制石英砂、高純石英砂、熔融石英砂等。不同類別的石英砂其純度和雜質(zhì)含量有所不同,應用領域也受其特征影響而有所差異。其中,半導體領域?qū)τ谑⑸耙筝^高,通常使用純度99.998%以上,單類堿金屬(鉀、鈉、鋰)含量小于1ppm的高純石英砂作為原材料。
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